| 真空热处理提高烧结钕铁硼镀Cu层结合力的研究 |
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| 引用本文： | 肖松,杨杰,张青科,杨丽景,宋振纶,李谋成.真空热处理提高烧结钕铁硼镀Cu层结合力的研究[J].表面技术,2019,48(10):276-284. |
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| 作者姓名： | 肖松 杨杰 张青科 杨丽景 宋振纶 李谋成 |
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| 作者单位： | 上海大学 材料科学与工程学院, 上海 200072;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 中国科学院磁性材料与器件重点实验室,浙江 宁波 315201;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 中国科学院磁性材料与器件重点实验室,浙江 宁波,315201;上海大学 材料科学与工程学院,上海,200072 |
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| 摘 要： | 目的 提高烧结钕铁硼表面镀Cu膜层结合力，改善可焊性，进一步制备生物友好的强耐蚀性防护薄膜。方法 采用磁控溅射技术在钕铁硼表面制备约7 μm厚的Cu膜，研究热处理温度和时间对Cu/NdFeB界面组织、膜基结合力和样品磁性能的影响，选取最优化热处理样品电镀约2 μm厚的Sn膜，再于280 ℃在其表面焊接Au片，评估其可焊性。结果 500 ℃热处理样品的Cu膜与基体间发生了明显扩散，扩散深度及结合力随时间延长而增加。热处理2 h样品的膜基结合力由处理前的11.0 MPa提高至31.5 MPa，膜基分离位置发生在磁体亚表面层，矫顽力、剩磁和最大磁能积等磁性能无显著下降。进一步镀Sn后，在其表面焊接的Au层与Cu膜层基体冶金结合良好，耐腐蚀性能优异。700 ℃热处理样品的Cu膜与基体间扩散过快，易造成Cu膜消失及钕铁硼基体表面损伤。结论 真空热处理温度和时间对Cu/钕铁硼界面组织有根本性影响，通过适宜的热处理可大幅提高磁控溅射的Cu膜与烧结钕铁硼之间的膜基结合力，同时不明显降低磁性能，可采用焊接方法在热处理后的Cu膜表面制备结合力高、长效耐蚀且生物友好的防护薄膜。
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| 关 键 词： | 烧结钕铁硼 磁控溅射 Cu膜 扩散焊接 结合力 耐蚀性 |
| 收稿时间： | 2019/1/29 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2019/10/20 0:00:00 |
Improvement of Adhesive Strength of Cu Film on Nd-Fe-B by Vacuum Annealing |
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| XIAO Song,YANG Jie,ZHANG Qing-ke,YANG Li-jing,SONG Zhen-lun and LI Mou-cheng.Improvement of Adhesive Strength of Cu Film on Nd-Fe-B by Vacuum Annealing[J].Surface Technology,2019,48(10):276-284. |
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| Authors: | XIAO Song YANG Jie ZHANG Qing-ke YANG Li-jing SONG Zhen-lun and LI Mou-cheng |
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| Affiliation: | 1. School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China; 2.Key laboratory of Magnetic Materials and Devices, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China,1. School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China; 2.Key laboratory of Magnetic Materials and Devices, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China,2.Key laboratory of Magnetic Materials and Devices, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China,2.Key laboratory of Magnetic Materials and Devices, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China,2.Key laboratory of Magnetic Materials and Devices, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China and 1. School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sintered Nd-Fe-B magnets magnetron sputtering Cu film diffusion bonding adhesive strength anticorrosion property |
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