| 纳米薄膜和涂层的制备以及在绿色技术领域应用(一) |
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| 引用本文： | 李望达.纳米薄膜和涂层的制备以及在绿色技术领域应用(一)[J].热处理技术与装备,2013,34(2). |
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| 作者姓名： | 李望达 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学材料科学与工程系,黑龙江哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 纳米结构薄膜和涂层在绿色技术领域的重要性与日俱增.本文讨论了它们的主要制备方法以及其在绿色技术领域(如太阳能利用和提高能源使用效率)里的潜在应用.着重介绍了真空或等离子体环境中的制膜技术,也包括了一些其他方面的工艺.工业化大规模沉积法生产薄膜的方法也进行了详细的讨论,并且对其未来的发展做出了展望.
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| 关 键 词： | 薄膜 涂层 沉积 绿色技术 纳米结构 |
Preparation and Application in Clean Technologies of Nanostructured Thin Film and Coating(1) |
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| LI Wang-da.Preparation and Application in Clean Technologies of Nanostructured Thin Film and Coating(1)[J].Heat Treatment Technology and Equipment,2013,34(2). |
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| Authors: | LI Wang-da |
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