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| 金刚石自支撑膜衬底生长立方Y_2O_3薄膜的性能 | |
| 引用本文： | 王猛,李成明,陈良贤,刘金龙,郭建超,魏俊俊,黑立富,吕反修.金刚石自支撑膜衬底生长立方Y_2O_3薄膜的性能[J].材料热处理学报,2014(7). |
| 作者姓名： | 王猛 李成明 陈良贤 刘金龙 郭建超 魏俊俊 黑立富 吕反修 |
| 作者单位： | 北京科技大学新材料技术研究所; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51272042);教育部博士点基金(2011000110011) |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在抛光的CVD金刚石膜上制备了立方(222)择优取向的Y2O3薄膜,利用XRD,纳米力学探针,划痕仪,FTIR和TEM等手段研究了退火对Y2O3薄膜的结构、力学性能和红外透过率的影响及Y2O3的微观结构。结果表明:通过退火Y2O3薄膜的结晶程度增加,退火后的择优取向仍为立方相(222)晶面结构;薄膜的硬度降低而弹性模量升高,薄膜与金刚石的结合力增加;薄膜的红外透过率略有降低;薄膜为柱状晶结构并存在大量非晶态。 |
| 关 键 词： | CVD金刚石 YO 退火 力学性能 红外透过 |
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