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TiAlCrN和TiAlCrN/CrN复合膜的微观组织与力学性能
引用本文:陈灵,曾德长,邱万奇,董小虹,黎炳雄,黄拿灿.TiAlCrN和TiAlCrN/CrN复合膜的微观组织与力学性能[J].中国有色金属学报,2009,19(9).
作者姓名:陈灵  曾德长  邱万奇  董小虹  黎炳雄  黄拿灿
作者单位:1. 华南理工大学,材料科学与工程学院,广州,510640
2. 广东省世创金属科技有限公司,佛山,528313
基金项目:国家自然科学基金资助项目,广东省科技计划资助项目,广州市科技计划资助项目 
摘    要:利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜.采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能.结果表明:两种膜都是面心立方结构,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多层膜分别在(111)和(200)面具有一定的择优取向;TiAlCrN膜的结构和成分都比较均匀,而TiAlCrN/CrN多层膜的结构和成分则呈周期性变化.由于离子渗氮层的支撑作用及氮化物外延生长,TiAlCrN/CrN多层膜的显微硬度(3 450 HV)高于TiAlCrN膜的(2 500 HV);两种膜都具有较高的膜基结合力,但TiAlCrN/CrN多层膜的综合力学性能比TiAlCrN膜的更好.

关 键 词:TiAlCrN膜  TiAlCrN/CrN多层膜  电弧镀  硬度  结合性能

Microstructure and mechanical properties of TiAlCrN and TiAlCrN/CrN composite coatings by arc ion plating
CHEN Ling,ZENG De-chang,QIU Wan-qi,DONG Xiao-hong,LI Bing-xiong,HUANG Na-can.Microstructure and mechanical properties of TiAlCrN and TiAlCrN/CrN composite coatings by arc ion plating[J].The Chinese Journal of Nonferrous Metals,2009,19(9).
Authors:CHEN Ling  ZENG De-chang  QIU Wan-qi  DONG Xiao-hong  LI Bing-xiong  HUANG Na-can
Abstract:
Keywords:
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