| 类金刚石膜的制备及其影响因素 |
| |
| 引用本文： | 陈灵,刘正义,邱万奇,黄元盛.类金刚石膜的制备及其影响因素[J].中国表面工程,2002,15(1):32-34. |
| |
| 作者姓名： | 陈灵 刘正义 邱万奇 黄元盛 |
| |
| 作者单位： | 华南理工大学,机电工程系,广东,广州,510641 |
| |
| 基金项目： | 国家教委博士点基金资助项目,(1999056121) 广东省自然科学基金资助项目,(990548) |
| |
| 摘 要： | 概述了近年来制类金刚石膜的新技术如双射频辉光放电（RF－RF）法，射频－直流辉光放电（RF－DC）法和微波－射频（MW－RF）法等，并且对影响类金刚石膜制备及性能的因素如基体材料，制备类金刚石膜时在膜中添加元素，类金刚石膜与基材之间的中间层等进行了较全面的分析。
|
| 关 键 词： | 类金刚石镀 制备方法 影响因素 |
| 文章编号： | 1007-9289(2002)01-0032-03 |
| 修稿时间： | 2001年8月17日 |
Preparation and Influencing Factors of Diamond-like Carbon Films |
| |
| CHEN Ling,LIU Zheng-yi,QIU Wan-qi,HUANG Yuan-sheng.Preparation and Influencing Factors of Diamond-like Carbon Films[J].China Surface Engineering,2002,15(1):32-34. |
| |
| Authors: | CHEN Ling LIU Zheng-yi QIU Wan-qi HUANG Yuan-sheng |
| |
| Abstract: | The new methods, such as RF-RF glow discharge plasma CVD, RF-DC glow discharge plasma CVD, MW-RF CVD etc. for producing diamond-like carbon films in recent years were reviewed. The influening factors, such as substrate materials, added chemical elements and intermediate layer, on diamond-like carbon films were also analyzed. |
| |
| Keywords: | diamond-like carbon films preparation techniques influencing factors |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《中国表面工程》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《中国表面工程》下载全文 |
|
