| 沉积温度对CrB_2涂层结构与性能的影响 |
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| 引用本文： | 张树参,李晓伟,王丽,张栋,柯培玲,李志勇,汪爱英.沉积温度对CrB_2涂层结构与性能的影响[J].中国表面工程,2016,29(2):69-76. |
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| 作者姓名： | 张树参 李晓伟 王丽 张栋 柯培玲 李志勇 汪爱英 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 a. 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室， b. 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室； 2. 中北大学 材料科学与工程学院 |
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| 摘 要： | 为了研究沉积温度对涂层微结构与力学性能的影响,采用直流磁控溅射技术制备了CrB_2涂层。通过XPS、XRD、SPM、SEM、HRTEM、纳米压痕仪和维氏压痕仪分别分析了涂层的成分、结构、微观形貌和力学性能。结果表明:在不同沉积温度下,CrB_2涂层均由CrB_2和少量Cr相组成。涂层具有致密的纳米柱状结构,其直径大约为7nm,且沿着生长方向贯穿整个涂层截面。随沉积温度升高,涂层晶体取向由(101)和(001)的混合取向逐渐转变为(001)择优取向,涂层由纤维状结构转变为柱状晶结构,且柱状晶尺寸随沉积温度的增加逐渐细化,致密化程度增加。涂层的力学性能随沉积温度的升高而显著增加;当沉积温度达到400℃时,涂层具有最高硬度(50.7±2)GPa和最高弹性模量(513.6±10)GPa。微观结构和力学性能随沉积温度的演变归因于沉积原子运动的逐渐增强和结构的致密化。
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| 关 键 词： | 沉积温度 CrB2涂层 微结构 硬度 韧性 |
Influences of Deposition Temperature on Microstructure and Properties of CrB2 Coatings |
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| ZHANG Shucan,LI Xiaowei,WANG Li,ZHANG Dong,KE Peiling,LI Zhiyong,WANG Aiying.Influences of Deposition Temperature on Microstructure and Properties of CrB2 Coatings[J].China Surface Engineering,2016,29(2):69-76. |
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| Authors: | ZHANG Shucan LI Xiaowei WANG Li ZHANG Dong KE Peiling LI Zhiyong WANG Aiying |
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| Affiliation: | 1a. Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, 1b. Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, Zhejiang; 2. College of Materials Science and Engineering, North University of China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | deposition temperature CrB2 coating microstructure hardness toughness |
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