| 柔性硬质纳米复合涂层 |
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| 引用本文： | 金德里奇&#,缪塞尔.柔性硬质纳米复合涂层[J].中国表面工程,2016,29(3):1-13. |
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| 作者姓名： | 金德里奇&# 缪塞尔 |
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| 作者单位： | 西波西米亚大学 物理和NTIS部, 捷克 比尔森 CZ-30614 |
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| 基金项目： | 捷克资助局项目(P108/12/0393) |
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| 摘 要： | 研究了利用磁控溅射方法制备的柔性硬质纳米复合涂层。结果表明柔性硬质纳米复合涂层具有以下优异性能:是一类具有高硬度、高韧性以及抗裂纹性能的新型涂层;具有较高的硬度模量比(H/E*≥0.1,E*=E/(1-ν~2))、弹性恢复系数(We≥60%)、压应力(σ0)L,且少缺陷的微观结构;生长处于Thornton结构区域相图的T区。磁控溅射非常适合制备纳米复合涂层,文中将对其制备柔性纳米复合薄膜的机理做深入阐述。涂层生长主要受以下3个参数影响:涂层生长过程中吸收的能量Ep,其包含沉积原子携带的能量E_(ca)和轰击离子携带等能量E_(bi)(E_p=E_(ca)+E_(bi)),基体温度Ts和涂层材料的熔点T_m。柔性硬质涂层具有广泛的应用前景,如柔性保护涂层、柔性功能涂层、防脆性涂层开裂的柔性保护涂层以及柔性多层涂层。文中还将详细阐述低温磁控溅射制备柔性纳米复合涂层的原理,并阐述纳米复合涂层及其性能的发展趋势。
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| 关 键 词： | 硬质纳米复合涂层 微观结构 宏观应力 力学性能 能量 柔性 裂纹抑制 磁控溅射 |
| 收稿时间： | 2016/5/17 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2016/6/15 0:00:00 |
Flexible Hard Nanocomposite Coatings |
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| MUSIL Jindrich.Flexible Hard Nanocomposite Coatings[J].China Surface Engineering,2016,29(3):1-13. |
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| Authors: | MUSIL Jindrich |
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| Affiliation: | Department of Physics and NTIS, University of West Bohemia, CZ-30614 Plzen, Czech Republic |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hard nanocomposite coatings microstructure macrostress mechanical properties energy flexibility resistance to cracking magnetron sputtering |
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