德国联邦物理技术研究院（PTB）气体微流量计量评介

在真空技术应用中，高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定。FIB先后研制了三代气体微流量计，第一代为手动型，第二代为半自动型，第三代为全自动型。本详细介绍了FIB研制的气体微流量计的性能和特点，并介绍了气体微流量计在真空漏孔的漏率测量方面的应用。另外，还介绍了FIB最近研制的大气压力下漏孔漏率测量系统的性能和特点。