表面氧污染影响钛膜吸氢量的机理 |
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引用本文: | 张强基,赵鹏骥.表面氧污染影响钛膜吸氢量的机理[J].真空科学与技术,1995,15(6):397-400. |
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作者姓名: | 张强基 赵鹏骥 |
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作者单位: | [1]复旦大学真空物理实验室 [2]中国工程物理研究院核物理与化学研究所 |
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摘 要: | 表面氧污染的钛膜,其吸氢能力比清洁钛膜降低达数倍之多,在厚度d为40nm,表面氧污染的钛膜表面上,重新蒸镀一层极薄的(约1.2nm)清洁钛膜,吸氢,释氢的测量表明其吸氢能力得到恢复。另外,还对其他四块不同厚度的钛膜,在表面清洁及氧污染的条件下,分别进行了吸氢能力实验,实验结果证实,氧污染降低钛氢能力的原因是使钛膜土氢分子解离的位置减少,而不是扩散阻挡层的作用。
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关 键 词: | 钛膜 氧污染 吸氢能力 扩散阻挡层 吸气材料 |
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