同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向 |
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引用本文: | 蒋迪奎,殷立新.同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向[J].真空科学与技术,1999,19(4):312-320. |
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作者姓名: | 蒋迪奎 殷立新 |
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作者单位: | 中国科学技术大学同步辐射实验室 |
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摘 要: | 根据真空系统运行条件,参考国内外SIP,拟订了同步辐射储存环用国产SIP的性能指标。结合SIP的机理和国际测试标准,对指标作了分析说明,以期加深国内真空泵厂对改进SIP必要性的认识,统一厂方和用户对指标的理解,在真空界推行公正的竞争,促进国产SIP质量的提高和走向国际市场。
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关 键 词: | 溅射离子泵 性能指标 同步辐射 储存环 |
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