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同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向
引用本文:蒋迪奎,殷立新.同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向[J].真空科学与技术,1999,19(4):312-320.
作者姓名:蒋迪奎  殷立新
作者单位:中国科学技术大学同步辐射实验室
摘    要:根据真空系统运行条件,参考国内外SIP,拟订了同步辐射储存环用国产SIP的性能指标。结合SIP的机理和国际测试标准,对指标作了分析说明,以期加深国内真空泵厂对改进SIP必要性的认识,统一厂方和用户对指标的理解,在真空界推行公正的竞争,促进国产SIP质量的提高和走向国际市场。

关 键 词:溅射离子泵  性能指标  同步辐射  储存环
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