| 氧化铝陶瓷表面连续导电金膜的制备工艺及性能 |
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| 引用本文： | 刘炘城,邵海成,乔冠军,陆浩杰,于刘旭,张相召,刘桂武.氧化铝陶瓷表面连续导电金膜的制备工艺及性能[J].材料导报,2021,35(8):76-81. |
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| 作者姓名： | 刘炘城 邵海成 乔冠军 陆浩杰 于刘旭 张相召 刘桂武 |
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| 作者单位： | 江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013 |
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| 基金项目： | 先进耐火材料国家重点实验室开放基金;国家重点研发计划项目;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 以Al2 O3陶瓷作为基底,采用磁控溅射和丝网印刷两种工艺在其表面制备导电Au膜,并通过控制变量法制备不同参数下不同厚度的Au膜,对两种制备工艺进行了系统性的深入研究.通过高精度电阻测量仪、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)分析热处理前后Au膜的导电性能及微观形貌,采用激光共聚焦显微镜(CLSM)表征Au膜表面的粗糙度.结果表明:磁控溅射制备的纳米Au膜的导电膜厚阈值为30 nm,膜层对基底面粗糙度改变较小.对纳米Au膜进行600℃热处理后,Au发生固态润湿,导致电阻值急剧增大,导电性能下降.借助丝网印刷工艺,采用40％(质量分数)的金浆和200目丝网即可印刷得到导电性良好的Au膜,该工艺能够有效节约成本和金浆.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 丝网印刷 Au膜 导电性 |
Preparation Process and Performance of Continuous Conductive Au Film on Surface of Al2O3 Ceramic |
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| LIU Xincheng,SHAO Haicheng,QIAO Guanjun,LU Haojie,YU Liuxu,ZHANG Xiangzhao,LIU Guiwu.Preparation Process and Performance of Continuous Conductive Au Film on Surface of Al2O3 Ceramic[J].Materials Review,2021,35(8):76-81. |
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| Authors: | LIU Xincheng SHAO Haicheng QIAO Guanjun LU Haojie YU Liuxu ZHANG Xiangzhao LIU Guiwu |
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