| CeO2@SiO2纳米复合磨料的制备及其对光学石英玻璃的抛光性能 |
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| 引用本文： | 陈杨,隆仁伟,陈志刚.CeO2@SiO2纳米复合磨料的制备及其对光学石英玻璃的抛光性能[J].材料导报,2010,24(18). |
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| 作者姓名： | 陈杨 隆仁伟 陈志刚 |
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| 作者单位： | 江苏大学材料科学与工程学院,镇江,212013;常州大学材料科学与工程学院,常州,213164;常州大学材料科学与工程学院,常州,213164;江苏大学材料科学与工程学院,镇江,212013 |
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| 基金项目： | 江苏省工业支撑计划项目，常州市工业科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 以无水乙醇为溶剂、氨水为催化剂,利用正硅酸乙酯水解所得的SiO2微球为内核,以硝酸亚铈为铈源、六亚甲基四胺为沉淀剂,采用化学沉淀法制备了具有草莓状包覆结构的CeO2@SiO2复合颗粒.利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、场发射扫描电镜、能谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米激光粒度分布仪等对所制备样品的结构进行了表征.将所制备的包覆结构CeO2@SiO2复合磨料用于光学石英玻璃的化学机械抛光,采用原子力显微镜观察了抛光表面的微观形貌,并测量了表面粗糙度.结果表明,所制备的CeO2@SiO2复合颗粒呈规则球形,粒度分布均匀,粒径为150～200nm,且具有明显的草莓状包覆结构,大量纳米CeO2颗粒紧密包覆在SiO2表面.AFM测量结果表明,抛光后玻璃表面划痕得到明显改善,在10μm×10μm范围内表面粗糙度RMS值由1.65nm降至0.484nm.
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| 关 键 词： | CeO2@SiO2复合磨料 包覆 石英玻璃 抛光 |
Preparation and Polishing Performance of CeO2@SiO2 Composite Abrasives |
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| CHEN Yang,LONG Renwei,CHEN Zhigang.Preparation and Polishing Performance of CeO2@SiO2 Composite Abrasives[J].Materials Review,2010,24(18). |
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| Authors: | CHEN Yang LONG Renwei CHEN Zhigang |
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