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| 46—04吸气剂提纯氩气的实验与应用 | |
| 引用本文： | 张忆延,纪铁成.46—04吸气剂提纯氩气的实验与应用[J].低温与特气,1991(3):49-54. |
| 作者姓名： | 张忆延 纪铁成 |
| 作者单位： | 机电部第46研究所，北京市氧气厂，北京半导体材料加工厂 天津 300220，北京 100022，北京 100028 |
| 摘 要： | 目前,在气体提纯、真空技术、电光源、能源、化工、仪表、食品等许多行业,广泛应用吸气技术和工艺。因此,研制吸气速率快、容量大、价格低、易于保存的金属吸气剂有很大意义。机电部第46研究所与北京半导体材料加工厂合作,研制成功46—04金属吸气剂。该吸气剂采用稀土合金与钛海绵按一定粒度及比例制成机械混合体,在常压和450～600℃工作温度下,可同时吸除氧、氮.一气化碳、二氧化碳、甲烷、水等 |
| 关 键 词： | 吸气剂 提纯 氩气 气体纯化 应用 |
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