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| 蚀刻气废气处理装置 | |
| 引用本文： | 张应焞,崔海生.蚀刻气废气处理装置[J].低温与特气,1987(1):72-72. |
| 作者姓名： | 张应焞 崔海生 |
| 作者单位： | [1]化工部光明化工研究所 [2]化工部西南化工研究院 |
| 摘 要： | 日本宇部兴产公司研制了一种在半导体制造工序中使用的蚀刻气的废气处理装置“UBE-RID”，最近正式开始销售。该公司是日本国内生产铝的蚀刻气(三氯化硼)的厂家。当三氯化硼与水分和空气接触时，会生成硼酸和氧化硼等固体物质，导致废气系统的管道和洗涤器封闭。为了有助于安全使用三氯化硼，该公司研制了简便的废气处理装置， |
| 关 键 词： | 废气处理装置 蚀刻 日本宇部兴产公司 三氯化硼 制造工序 空气接触 固体物质 废气系统 安全使用 半导体 日本国 氧化硼 洗涤器 研制 硼酸 |
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