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双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践
引用本文:吴世俊,樊洁,黄志阳,郝翔.双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践[J].计量与测试技术,2016(11):30-31.
作者姓名:吴世俊  樊洁  黄志阳  郝翔
作者单位:中国空气动力研究与发展中心校准测试实验室,四川绵阳,621000
摘    要:本文针对双频激光干涉仪在进行各种机床、风洞运动机构等竖直轴位置精度校准时,光路调整复杂,工作效率较低,测量精度难以保证等问题,在充分分析了光路调整工作原理的基础上,设计加工了一种竖直轴专用光路调整台,并成功应用于实践,缩短了光路调整时间,极大提高了工作效率。

关 键 词:双频激光干涉仪  校准  光路  调整

The Adjust Laser Beam Practice of Dual-Frequency Laser Interferometer System Measuring Erect Axes
Abstract:
Keywords:
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