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| MOS器件二维有限元分析 | |
| 引用本文： | 刘之行,陈贵灿.MOS器件二维有限元分析[J].工程数学学报,1989,6(2):76-83. |
| 作者姓名： | 刘之行 陈贵灿 |
| 作者单位： | 西安交通大学 (刘之行)，西安交通大学(陈贵灿) |
| 摘 要： | 一、引言 随着大规模集成电路和超大规模集成电路技术的发展,MOS器件的尺寸日益缩小,它的性能不能再用一个简单的一维分析公式来我达。为了精确地确定小尺寸MOS器件的性能及保证设计工作的正确性,必须研究二维,三维情形。差分方法的二维MOS器件模拟,已发展得比 |
| 关 键 词： | MOS器件 有限元分析 物理方程 |
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