| 双光子三维微细加工的进展 |
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| 引用本文： | 袁大军,蒋中伟,徐藻,郭锐,王翔,黄文浩,夏安东,褚家如.双光子三维微细加工的进展[J].纳米技术与精密工程,2004,2(1):50-53. |
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| 作者姓名： | 袁大军 蒋中伟 徐藻 郭锐 王翔 黄文浩 夏安东 褚家如 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026
2. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026;中国科学院化学所分子反应动力学国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (50 2 751 4 0 )，国家863高技术研究发展计划资助项目(MEMS2 0 0 3AA40 4 0 3) |
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| 摘 要： | 介绍了双光子微细加工的原理及特点，总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展．同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果．
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| 关 键 词： | 双光子激发 飞秒激光 微细加工 激光加工 |
| 文章编号： | 1672-6030(2004)01-0050-04 |
| 修稿时间： | 2004年1月10日 |
Progress of Two-Photon Three-Dimensional Microfabrication |
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| YUAN Da jun ,JIANG Zhong wei ,XU Zao ,GUO Rui ,WANG Xiang ,HUANG Wen hao ,XIA An dong ,CHU Jia ru.Progress of Two-Photon Three-Dimensional Microfabrication[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2004,2(1):50-53. |
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| Authors: | YUAN Da jun JIANG Zhong wei XU Zao GUO Rui WANG Xiang HUANG Wen hao XIA An dong CHU Jia ru |
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| Affiliation: | YUAN Da jun 1,JIANG Zhong wei 1,XU Zao 1,GUO Rui 1,WANG Xiang 1,HUANG Wen hao 1,XIA An dong 1,2,CHU Jia ru 1 |
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| Abstract: | The principle and characteristics of two photon three dimensional microfabrication are introduced. The progress of two photon microfabrication of three dimensional microstructures, three dimensional functional devices and new materials in the world are summarized and some results of our research on two photon microfabrication are presented. |
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| Keywords: | two-photon excitation femtosecond laser microfabrication |
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