Au-Si<111>体系离子束混合中的温度影响 |
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引用本文: | 李玉璞,陈坚,刘家瑞,章其初.Au-Si<111>体系离子束混合中的温度影响[J].材料研究学报,1988(4). |
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作者姓名: | 李玉璞 陈坚 刘家瑞 章其初 |
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作者单位: | 北京大学,北京大学,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所 北京科技大学博士研究生 |
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摘 要: | Au-Si 系统是一种典型的共晶体系。B.X.Liu 等通过对 Au 与 Si 迭层膜的研究得到多种组分比和相结构的 Au 与 Si 的混合层~(1]);S.S.Lau 等通过对 Au 膜-Si 衬底样品的研究0得到过 Au_(71)Si_(29)(~Au_5Si_2)亚稳相~(2])。本文在更宽的离子束参数及更宽的温区(77—573K)下,系统地研究了 Ar 离子束诱导的 Au 膜-Si衬底体系的原子混合现象,
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