| 上海EBIT装置微量气体注入系统的研制 |
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| 引用本文： | 安双利,蒋迪奎,郭盘林,张海鸥.上海EBIT装置微量气体注入系统的研制[J].真空科学与技术学报,2007,27(1):1-4. |
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| 作者姓名： | 安双利 蒋迪奎 郭盘林 张海鸥 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海应用物理研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100049
2. 中国科学院上海应用物理研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 本文介绍了上海电子束离子阱(EBIT)装置微量气体注入系统的成功研制。文中阐述了该系统的总体设计,并运用Maxwellian速度分布理论及几何光学模型描述和分析了整个注入过程,重点计算了注气效率和中心漂移管处分子密度。现已投入运行,实验证明达到了设计指标,满足了实验使用要求。
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| 关 键 词： | 电子束离子阱 微量气体注入 几何光学模型 注气效率 分子密度 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）01-001-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-17 |
Gas Injection System for the Shanghai EBIT Facility |
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| An Shuangli,Jiang Dikui,Guo Panlin,Zhang Haiou.Gas Injection System for the Shanghai EBIT Facility[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2007,27(1):1-4. |
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| Authors: | An Shuangli Jiang Dikui Guo Panlin Zhang Haiou |
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| Affiliation: | 1. Shanghai Institute of Applied Physics, CAS, Shanghai 201800, China ; 2. Groducate School of CAS, Beijing 100049, China |
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| Abstract: | The gas injection system for Shanghai electron beam ion trap(EBIT) facility is successfully developed.The integrated design was described,and the full injection was analyzed by using Maxwellian velocity distribution theory and geometrical optics,especially for the injection efficiency and injected gas molecular density estimation.The system has been running with satisfactory results. |
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| Keywords: | Electron beam ion trap Mini-quantity gas injection Geometrical optics model Injection efficiency Molecular density |
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