| （Ti，Cr）N复合涂层组织结构与力学性能的研究 |
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| 引用本文： | 陈灵,曾德长,邱万奇,董小虹,黎炳雄,黄拿灿.（Ti，Cr）N复合涂层组织结构与力学性能的研究[J].真空科学与技术学报,2009,29(1). |
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| 作者姓名： | 陈灵 曾德长 邱万奇 董小虹 黎炳雄 黄拿灿 |
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| 作者单位： | 1. 华南理工大学材料科学与工程学院,广州,510640
2. 广东省世创金属科技有限公司,佛山,528313 |
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| 基金项目： | 广东省科技计划项目，广州市科技计划项目，国家自然科学基金重点项目 |
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| 摘 要： | 本文首先用离子氮化制备过渡层,然后进行电弧离子镀,通过改变靶的成分来控制涂层的成分,沉积结构成分不同的(Ti,Cr)N复合涂层:(TiCr)N+TiN和CrN+(TiCr)N.采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等方法表征了两种复合膜的成分结构和力学性能.测试分析结果表明:由于Cr原子部分取代TiN中的Ti原子及对液滴的轰击碰撞作用,改善细化了涂层的表面微观组织.两种涂层都具有良好的膜基结合性能,后者的弹性模量低于前者,而硬度、韧性及结合性能均高于前者.
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| 关 键 词： | 电弧离子镀 (Ti Cr)N涂层 微观结构 结合性能 硬度 |
Microstructures and Mechanical Properties of (Ti,Cr)N Composite Coatings Grown by Arc Ion Plating |
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| Chen Ling,Zeng Dechang,Qiu Wanqi,Dong Xiaohong,Li Bingxiong,Huang Nacan.Microstructures and Mechanical Properties of (Ti,Cr)N Composite Coatings Grown by Arc Ion Plating[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2009,29(1). |
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| Authors: | Chen Ling Zeng Dechang Qiu Wanqi Dong Xiaohong Li Bingxiong Huang Nacan |
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