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| 区域熔融技术在InSb薄膜热处理中的应用研究 | |
| 引用本文： | 于映,陈抗生.区域熔融技术在InSb薄膜热处理中的应用研究[J].真空科学与技术学报,1996(3). |
| 作者姓名： | 于映 陈抗生 |
| 作者单位： | 浙江大学信电系!杭州310008 |
| 摘 要： | 对真空分层蒸镀的InSb薄膜进行了区域溶融热处理，与普通升温热处理相比，薄膜的结晶度和电学性能有较大的提高。应用成膜理论分析了区域熔融技术对于InSb薄膜结构和性能的影响。 |
| 关 键 词： | InSb薄膜 区域熔融技术 迁移率 |
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