| 固定流导法真空漏孔校准装置 |
| |
| 引用本文： | 李得天,郭美如,葛敏,张周焕,王占忠,刘波,杨新民.固定流导法真空漏孔校准装置[J].真空科学与技术学报,2006,26(5):358-362. |
| |
| 作者姓名： | 李得天 郭美如 葛敏 张周焕 王占忠 刘波 杨新民 |
| |
| 作者单位： | 1. 兰州物理研究所,兰州,730000
2. 西安航天计量测试研究所,西安,710100 |
| |
| 摘 要： | 为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.7×10-6Pa,漏率校准范围为10-5Pa.m3/s~10-11Pa.m3/s,合成标准不确定度为1.4%~4.2%。
|
| 关 键 词： | 真空漏孔 校准装置 固定流导法 四极质谱计 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）05-358-05 |
| 收稿时间： | 2006-04-18 |
| 修稿时间： | 2006年4月18日 |
Calibration of Ultra-Low Leak Rate with Constant Conductance Technique |
| |
| Li Detian,Guo Meiru,Ge Min,Zhang Zhouhuan,Wang Zhanzhong,Liu Bo,Yang Xinmin.Calibration of Ultra-Low Leak Rate with Constant Conductance Technique[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(5):358-362. |
| |
| Authors: | Li Detian Guo Meiru Ge Min Zhang Zhouhuan Wang Zhanzhong Liu Bo Yang Xinmin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Vacuum leak Calibration apparatus Constant conductance method Quadrupole mass spectrometer(QMS) |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
