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热壁外延制备n-PbTe/p-Pb_(1-x)Sn_xTe异质结
引用本文:杨玉琨,李文明,于磊,杨易,吴连民,徐跃,徐立兴,熊欣.热壁外延制备n-PbTe/p-Pb_(1-x)Sn_xTe异质结[J].真空科学与技术学报,1995(5).
作者姓名:杨玉琨  李文明  于磊  杨易  吴连民  徐跃  徐立兴  熊欣
摘    要:用改进的HWE装置,在BaF2衬底上制备n-PbTe/p-Pb_(1-x)Sn_xTe反型异质结的工艺及测试结果。SEM,XRD检测表明它是单晶异质结,I-U曲线表明它具有良好的整流特性。此外用C-U截距法测定了它的内建电势差Ud。

关 键 词:热壁外延  异质结  扫描电镜  X射线衍射
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