| 一种新型的紫外光源--准分子紫外灯 |
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| 引用本文： | 徐金洲,梁荣庆,任兆杏.一种新型的紫外光源--准分子紫外灯[J].真空科学与技术学报,2001,21(4):298-302. |
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| 作者姓名： | 徐金洲 梁荣庆 任兆杏 |
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| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
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| 摘 要： | 非相干性紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术.本文着重介绍一种使用介质阻挡放电激发紫外或真空紫外辐射的新型光源--准分子紫外灯,包括准分子的形成以及光源的紫外辐射效率.最后,对影响准分子辐射的因素如气压、气体组成、温度及电源频率和电压进行了初步的分析.
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| 关 键 词： | 准分子灯 非相干紫外或真空紫外辐射 介质阻挡放电 紫外或真空紫外辐射效率 |
| 文章编号： | 0253-9748(2001)04-0298-05 |
| 修稿时间： | 2000年8月29日 |
New Type of Ultraviolet Light Source-Excimer Lamp |
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| Xu Jingzhou,Liang Rongqing,Ren Zhaoxing.New Type of Ultraviolet Light Source-Excimer Lamp[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2001,21(4):298-302. |
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| Authors: | Xu Jingzhou Liang Rongqing Ren Zhaoxing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Excimer lamp Incoherent UV or VUV radiation Dielectric barrier discharge UV or VUV radiation efficiency |
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