| 射频源原子氧暴露对PET薄膜表面性能的影响 |
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| 引用本文： | 李胜刚,张丹,田修波,黄永宪,杨士勤.射频源原子氧暴露对PET薄膜表面性能的影响[J].真空,2008,45(6). |
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| 作者姓名： | 李胜刚 张丹 田修波 黄永宪 杨士勤 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用射频源原子氧装置对PET薄膜材料进行不同时间的暴露试验.研究了氧等离子体暴露对PET薄膜的质量损失、表面形貌、接触角的影响,并对暴露前后PET薄膜进行了红外光谱(FTIR)分析.结果表明,温度随暴露时间延长而升高,达到一定值后趋于平缓;随暴露时间延长PET薄膜的质量损失越来越大,表面形貌变得越来越粗糙,接触角先减小后增大.红外光谱分析表明,氧等离子体暴露后PET薄膜表而O-C=O、C-O等含氧基团的数量有所降低.这是由于原子氧暴露诱导的氧化和表面刻蚀.
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| 关 键 词： | 氧等离子体 PET薄膜 质量损失 表面形貌 接触角 |
Effect of RF-induced atomic oxygen exposure on surface properties of PET films |
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| LI Sheng-gang,ZHANG Dan,TIAN Xiu-bo,HUANG Yong-xian,YANG Shi-qin.Effect of RF-induced atomic oxygen exposure on surface properties of PET films[J].Vacuum,2008,45(6). |
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| Authors: | LI Sheng-gang ZHANG Dan TIAN Xiu-bo HUANG Yong-xian YANG Shi-qin |
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