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Seya-Namioka单色仪的结构设计与真空处理
引用本文:王秋平,张允武,刘绍义,周红军,丁元.Seya-Namioka单色仪的结构设计与真空处理[J].真空,1994(4).
作者姓名:王秋平  张允武  刘绍义  周红军  丁元
作者单位:中国科技大学国家同步辐射实验室
摘    要:本文介绍了用于光化学实验站,进行气相化学实验的Seya-Namioka真空紫外(VUV)单色仪的结构性能,该单色仪由入射狭缝,正弦机构,光栅机构,出射狭缝和真空元件组成,通过更换光栅后,可覆盖的波长范围为35nm-600nm,在35nm时分辨率为0.1nm,样品处的光通量为5×1011phs/s。整个单色仪的工作真空度为5×10-8Pa.该单色仪已于1991年底完成总调试。现在已经稳定运行近两年,性能良好。

关 键 词:VUV,单色仪,结构设计
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