| 离子辅助蒸发(1-x)TiO2-(x)Ta2O5薄膜及其光学性能研究 |
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| 引用本文： | 王汉华,薛亦渝,郭培涛,张光勇,马中杰.离子辅助蒸发(1-x)TiO2-(x)Ta2O5薄膜及其光学性能研究[J].真空,2007,44(4):40-43. |
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| 作者姓名： | 王汉华 薛亦渝 郭培涛 张光勇 马中杰 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学材料科学与工程学院,湖北,武汉,430070 |
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| 摘 要： | 采用离子辅助蒸发的方法，以不同配比的Ta2O5和TiO2混合物为初始膜料在K9玻璃上制备了TiO2-Ta2O5混合薄膜，并对其透射性能和光学常数进行研究。实验结果表明，薄膜在可见光范围内的平均透射率在82％以上，并随着Ta2O5含量的增加而增加；薄膜的折射率在1．80～2．07范围内变化（550nm）。对同-Ta2O5含量的薄膜来说，退火后TiO2薄膜和80TiO2—20Ta2O5薄膜的折射率较退火前提高，而90TiO2-10Ta2O5薄膜的折射率较退火前降低。
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| 关 键 词： | 薄膜 透射率 光学常数 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）04-0040-04 |
| 修稿时间： | 2006-11-02 |
Optical properties of (1-x)TiO2-(x)Ta2O5 thin films prepared with ion-aided electron beam evaporation |
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| WANG Han-hua, XUE Yi-yu, GUO Pei-tao, MA Zhong-jie.Optical properties of (1-x)TiO2-(x)Ta2O5 thin films prepared with ion-aided electron beam evaporation[J].Vacuum,2007,44(4):40-43. |
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| Authors: | WANG Han-hua XUE Yi-yu GUO Pei-tao MA Zhong-jie |
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| Affiliation: | School of Material Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2-Ta2O5 |
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