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| 薄膜技术、薄膜物理和真空 | |
| 引用本文： | 陈隆智.薄膜技术、薄膜物理和真空[J].真空,1979(2). |
| 作者姓名： | 陈隆智 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 十多年来,薄膜技术、薄膜物理和真空的关系已十分密切。国外几种主要的“真空”刊物上发表的有关薄膜技术和薄膜物理的论文和实验报告可以说数以千计。另外还有许多专项课题发表在诸如表面科学、应用物理、半导体技术、电子技术、固体物理和光学刊物上。 十多年来,薄膜技术的发展曾经使真空镀膜方法有了重大的突破(例如,向离子镀膜的方向发展)。展望未来,不少真空技术工作者预言薄膜技术和薄膜物理的研究将是真空技术有希望取得重大突破的课题之一。这种看法是有一定的道理的。从1977年世界科技方面重要的成果来看与真空技术有关的有两项,这… |
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