| 摩擦条件对掺钨DLC膜摩擦磨损性能的影响 |
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| 引用本文： | 代明江,付志强,林松盛,王成彪,肖晓玲.摩擦条件对掺钨DLC膜摩擦磨损性能的影响[J].真空,2010,47(3). |
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| 作者姓名： | 代明江 付志强 林松盛 王成彪 肖晓玲 |
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| 作者单位： | 1. 广州有色金属研究院材料表面工程研究所,广东,广州,510651
2. 中国地质大学(北京)工程技术学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 本研究利用SEM、AES、XRD、Raman谱仪、纳米压痕仪、划痕仪和球-盘磨损实验机对掺钨DLC膜的微观结构和摩擦学性能进行了研究,结果表明:掺钨DLC膜光滑致密,具有纳米晶碳化钨和非晶碳组成的复相结构;其硬度和弹性模量为19-23GPa和200-228GPa,膜/基结合力好;摩擦系数随着载荷的增加略有增加,转速对摩擦系数的影响较小;当载荷大于1.96N时,磨损率随着载荷增加急剧增大,磨损率随着转速的增加存在一个极小值;DLC膜的磨损主要是由基体塑性变形引起的梯度掺钨DLC膜内部不同亚层之间的剥离和DLC膜的断裂引起的。
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| 关 键 词： | 掺钨DLC膜 摩擦磨损性能 微观结构 摩擦条件 |
Effect of frictional conditions on tribological performance of W-doped DLC films |
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| DAI Ming-jiang,FU Zhi-qiang,LIN Song-sheng,WANG Cheng-biao,XIAO Xiao-ling.Effect of frictional conditions on tribological performance of W-doped DLC films[J].Vacuum,2010,47(3). |
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| Authors: | DAI Ming-jiang FU Zhi-qiang LIN Song-sheng WANG Cheng-biao XIAO Xiao-ling |
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