四极质谱计的定量分析及其在彩色显象管残气分析中的应用

随着我国彩色显象管工业的逐步发展，用户对彩色显象管的性能和使用寿命提出了更高的要求。管内的真空环境对器件的质量和寿命有着至关重大的影响，利用四极质谱计对管内残气做定量分析，已逐渐成为彩色显象管生产中提高产品质量，寻找不良品原因，改革工艺等不可缺少的重要的手段。本文对定量分析中的计算公式加以说明，对影响四极质谱计定量分析准确性的几个重要因素进行探讨，介绍了四极质谱计在１４”彩色显象管残气动态定量分析中的应用。