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| 双远心影像系统在微小结构测量中的应用 | |
| 作者单位： | ;1.广东省现代几何与力学计量技术重点实验室;2.广东省计量科学研究院;3.广州市宇欣光电子技术研究所 |
| 摘 要： | 为适应精密元器件微小结构测量的需求,建立一种基于线结构光扫描的影像测量系统。系统采用自行研制的低畸变(优于0.02%)、大景深(大于5 mm)双远心光学镜头,在景深范围内,物像映射矩阵呈现良好的线性关系。对测量图像噪声抑制方法及结构光图像中线提取算法进行研究,用线性映射算法还原工件轮廓,实现微小结构的快捷测量。为保证测量的稳定,系统选择线激光光源并引入窄带滤光片,有效抑制背景噪声,在5 mm量程内,一阶误差补偿后的测量误差控制在-10~10μm内。测量系统对工件定位要求低,适用于精密零件台阶、倾角及微小异型面的常规测量,可满足基本的工业及计量检测要求。 |
| 关 键 词： | 双远心镜头 线结构光 微小结构 精密元器件测量 |
Application of bilateral telecentric image system in mini structure measurement |
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