| 退火温度对a-C:H膜结构及摩擦学性能的影响 |
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| 引用本文： | 王永霞,冶银平,李红轩,吉利,陈建敏,周惠娣.退火温度对a-C:H膜结构及摩擦学性能的影响[J].无机材料学报,2011(2):209-213. |
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| 作者姓名： | 王永霞 冶银平 李红轩 吉利 陈建敏 周惠娣 |
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| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室;中国科学院研究生院; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50705093); 中国科学院创新群体基金(50421502)~~ |
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| 摘 要： | 为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C:H)膜结构和性能的影响,将a-C:H膜在大气环境中进行高温退火处理,并借助红外光谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱、3D表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后a-C:H膜的结构、组成和性能进行了系统地考察.研究发现,在较低的退火温度下(300℃),a-C:H膜结构无明显变化,而其内应力降低,摩擦学性能显著提高;在400℃和500℃下退火,膜结构发生明显变化并伴随严重氧化,同时摩擦学性能降低甚至完全失效.结果表明,退火温度的选择对a-C:H膜的结构、组成及性能具有重要影响.
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| 关 键 词： | a-C:H膜 退火温度 结构 摩擦学性能 |
Effect of Annealing Temperature on the Structure and Tribological Property of a-C:H Film |
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| WANG Yong-Xia,YE Yin-Ping,LI Hong-Xuan,JI Li,CHEN Jian-Min,ZHOU Hui-Di.Effect of Annealing Temperature on the Structure and Tribological Property of a-C:H Film[J].Journal of Inorganic Materials,2011(2):209-213. |
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| Authors: | WANG Yong-Xia YE Yin-Ping LI Hong-Xuan JI Li CHEN Jian-Min ZHOU Hui-Di |
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| Affiliation: | WANG Yong-Xia1,2,YE Yin-Ping1,LI Hong-Xuan1,JI Li1,CHEN Jian-Min1,ZHOU Hui-Di1(1.State Key Laboratory of Solid Lubrication,Lanzhou Institute of Chemical Physics,Chinese Academy of Sciences,Lanzhou 730000,China,2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | Hydrogenated amorphous carbon(a-C:H) films were annealed in air,to investigate the effect of ambient temperature on the structure and properties of a-C:H films.After annealed at different temperatures,structure,composition and properties of a-C:H films were investigated via Fourier transform infrared spectroscopy(FTIR),Raman spectroscope,X-ray photoelectron spectroscope(XPS),3D surface profiler and ball-on-disk tribotester.Compared with the as-deposited film,the a-C:H film annealed at low temperature of 300... |
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| Keywords: | a-C:H film annealing temperature structure tribological property |
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