| MEMS扫描镜机电特性测量系统的设计 |
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| 引用本文： | 刘耀波,苑伟政,乔大勇,燕斌.MEMS扫描镜机电特性测量系统的设计[J].光电工程,2011,38(12):28-34. |
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| 作者姓名： | 刘耀波 苑伟政 乔大勇 燕斌 |
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| 作者单位： | 西北工业大学机电学院,西安,710072 |
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| 基金项目： | 教育部新世纪优秀人才支持计划项目，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究.首先,介绍了MEMS扫描镜的工作原理,对其结构设计及机电特性进行了研究.其次,研究了MEMS扫描镜的频...
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| 关 键 词： | 微机电 扫描镜:机电特性:测量系统 |
Design of Electromechanical characteristics Measuring System for MEMS Scanner |
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| LIU Yao-bo,YUANWei-zheng,QIAO Da-yong,YAN Bin.Design of Electromechanical characteristics Measuring System for MEMS Scanner[J].Opto-Electronic Engineering,2011,38(12):28-34. |
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| Authors: | LIU Yao-bo YUANWei-zheng QIAO Da-yong YAN Bin |
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