| 应力抛光技术实验装置的研究 |
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| 引用本文： | 孙天祥,杨力,吴永前,万勇建,范斌.应力抛光技术实验装置的研究[J].光电工程,2009,36(10). |
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| 作者姓名： | 孙天祥 杨力 吴永前 万勇建 范斌 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 基于弹性力学理论的应力抛光技术(SMP)是将非球面加工转化为球面加工的新技术,能够有效地提高非球面加工效率.由应力抛光技术的算法及有限元分析、模拟,针对玻璃材料自身的性质以及在球面镜周边施力或力矩来实现球面到非球面之间变形量的要求,设计、加工和装调一套专门用于应力抛光技术的实验装置,为了实现应力抛光技术中玻璃薄板的球面到抛物面之间的变形,以该装置加工了一块口径为Φ314 mm,F/7的抛物面镜为例,抛光结束的抛物面其峰值(PV)为3.317λ,均方根(rms)为0.489λ,验证了应力抛光技术实验装置的合理性和有效性.
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| 关 键 词： | 应力抛光技术 光学加工 实验装置 抛物面 光学测量 |
Experimental Installation Investigation of Stressed Mirror Polishing |
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