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| 光子筛的超分辨聚焦特性研究 | |
| 引用本文： | 李亚文,陈军宁,贾佳,朱效立,吴璇,谢常青.光子筛的超分辨聚焦特性研究[J].光电工程,2009,36(3). |
| 作者姓名： | 李亚文 陈军宁 贾佳 朱效立 吴璇 谢常青 |
| 作者单位： | 1. 安徽大学,电子科学与技术学院,合肥,230039;中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029 2. 安徽大学,电子科学与技术学院,合肥,230039 3. 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029 |
| 基金项目： | 国家基础科学重大研究计划项目，国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 对光子筛的结构进行了优化设计,通过实验研究了光子筛对355 nm激光的聚焦特性,并与传统的聚焦元件波带片进行了比较.首先,使用自行编写的光子筛自动生成宏文件程序,优化设计了光子筛图形;制作了特征尺寸为2 μm、适用于355 nm激光的聚焦光子筛和波带片;搭建了聚焦光斑的测试光路系统,得到了光子筛和波带片对355nm激光的聚焦光斑.通过比较分析,得出光子筛具有更好的聚焦特性以及旁瓣抑制能力的结论. |
| 关 键 词： | 衍射光学 光子筛 波带片 聚焦特性 旁瓣抑制 |
Super-resolution Focus Property of Photon Sieves |
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| LI Ya-wen,CHEN Jun-ning,JIA Jia,ZHU Xiao-li,WU Xuan,XIE Chang-qing.Super-resolution Focus Property of Photon Sieves[J].Opto-Electronic Engineering,2009,36(3). | |
| Authors: | LI Ya-wen CHEN Jun-ning JIA Jia ZHU Xiao-li WU Xuan XIE Chang-qing |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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