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| 压阻式压力传感器的温度特性研究 | |
| 引用本文： | 郭涛,熊继军,张文栋.压阻式压力传感器的温度特性研究[J].测试技术学报,2004,18(1):229-231. |
| 作者姓名： | 郭涛 熊继军 张文栋 |
| 作者单位： | 郭涛（华北工学院电子科学与技术系,教育部重点实验室,山西,太原,030051）;熊继军（华北工学院电子科学与技术系,教育部重点实验室,山西,太原,030051）;张文栋（华北工学院电子科学与技术系,教育部重点实验室,山西,太原,030051） |
| 摘 要： | 本文针对压阻式压力传感器的温度特性,提出了对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移的补偿方法在传感器芯片上加做温敏电阻和加热电阻对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移进行补偿,并通过试验证明这种方法是非常有效的. |
| 关 键 词： | 压阻式压力传感器 温度特性 零位温度漂移 灵敏度温度漂移 |
| 修稿时间： | 2004年4月12日 |
The Research on Temperature Characteristic of The Piezoresistance Pressure sensor |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
