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| 超高真空下熔断丝垫圈的密封性能 | |
| 引用本文： | 姜万顺,张彦伟,达道安.超高真空下熔断丝垫圈的密封性能[J].真空与低温,1988(1). |
| 作者姓名： | 姜万顺 张彦伟 达道安 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 叙述了超高真空下熔断丝密封垫圈高、低温(高温区为310℃,低温区为-196℃)密封性能的研究方法.采用带电子倍增器的四极质谱计对密封系统进行了残余气体分析和微小漏孔检测.用以检验密封效果及其可靠性.通过多次实验研究,证明熔断丝密封垫圈不仅能经受300℃高温下的连续烘烤.而且能承受液氮温度下(-196℃)的“冷冲击”,垫圈密封性能良好,系统真空度达到2.7×10~(-8)帕。最后对这种密封垫圈温度变化过程中的密封机制作了理论分析,并给出了简要而实用的结论. |
| 关 键 词： | 超高真空 真空密封 衬垫 材料性能 |
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