|
|||||
|
|
| 锌还原四氯化硅制备多晶硅技术的国内外进展 | |
| 引用本文： | 张愿成,张滢清,郭飞,韩晓龙,黄碧龙,张玉霞,贺珍俊.锌还原四氯化硅制备多晶硅技术的国内外进展[J].新材料产业,2010(2):48-51. |
| 作者姓名： | 张愿成 张滢清 郭飞 韩晓龙 黄碧龙 张玉霞 贺珍俊 |
| 作者单位： | 上海太阳能工程技术研究中心有限公司 |
| 摘 要： | <正>在光伏产业中,多晶硅的生产工艺主要有西门子法/改良西门子法、硅烷热分解法、流化床法以及区域熔炼法1];其中,采用三氯氢硅(SiHCl3)作为原料,改进西门子法供应的太阳能级多晶硅占整个世界太阳能级多晶硅 |
| 关 键 词： | 多晶硅 四氯化硅 国内外 硅技术 制备 还原 区域熔炼法 西门子 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
