| AlN原料的钨网炉高温提纯 |
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| 引用本文： | 刘京明,刘彤,杨俊,陶东言,段满龙,董志远,赵有文,李百泉.AlN原料的钨网炉高温提纯[J].材料科学与工程学报,2015(4):601-604. |
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| 作者姓名： | 刘京明 刘彤 杨俊 陶东言 段满龙 董志远 赵有文 李百泉 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所材料开放重点实验室,北京,100083;2. 北京华进创威电子有限公司氮化铝研发中心,北京,100023 |
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| 摘 要： | 商品氮化铝粉料中含有高浓度的氧、碳及金属杂质,需经过高温提纯处理后才能用于物理气相法氮化铝晶体生长。与感应加热相比,钨网电阻加热可有效避免碳、氧等的二次沾污,势必具有良好的提纯效果。本文采用钨网炉对AlN原料进行高温烧结提纯处理,通过X射线能谱仪(EDS)、气体分析技术(IGA)和辉光放电质谱仪(GDMS)对烧结处理后AlN的杂质含量进行了测试分析,结果表明经钨网炉高温烧结处理后,AlN原料中杂质含量明显降低,其中的氧、碳去除效果显著。还进一步分析了杂质挥发、原料损耗随温度、时间变化的规律。
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| 关 键 词： | 氮化铝 钨网炉 杂质 提纯 |
Purification of AlN Source Material Using a Tungsten Mesh Furnace |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AlN Tungsten mesh furnace impurities purification |
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