化学气相沉积法制备GaN纳米线及其形貌结构和生长机理研究 |
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引用本文: | 万想,孟宪权,刘义鹤.化学气相沉积法制备GaN纳米线及其形貌结构和生长机理研究[J].功能材料,2014(2). |
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作者姓名: | 万想 孟宪权 刘义鹤 |
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作者单位: | 武汉大学物理科学与技术学院; |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(11275144,J1210061) |
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摘 要: | 采用化学气相沉积(CVD)法,分别以Ni、Au为催化剂,氨化金属Ga制备出GaN纳米线。运用SEM,EDX,TEM等表征手段分析了GaN纳米线的形貌与结构。通过改变氨化温度、生长时间、催化剂、衬底以及Ga源和衬底间的距离等生长条件,研究了其对GaN纳米线形貌和结构的影响,通过分析探讨纳米线的生长过程与机制,得到了生长GaN纳米线的最佳工艺。
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关 键 词: | GaN 纳米线 生长机制 |
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