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| MOS型CO气体传感器 | |
| 引用本文： | 邹德恕,王东风.MOS型CO气体传感器[J].传感器与微系统,1987(Z1). |
| 作者姓名： | 邹德恕 王东风 |
| 作者单位： | 北京工业大学无线电系特种器件研究室 (邹德恕)，北京工业大学无线电系特种器件研究室(王东风) |
| 摘 要： | <正> SnO_3栅MOS气体传感器是一种新型的MOS传感器,以金属氧化物SnO_2作为MOS晶体管的栅材料,当SnO_2层的厚度小于德拜长度时,吸附CO分子后与栅材料表面进行氧原子交换,致使栅材料中的电子浓度发生变化,由 |
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