| 微加热板式半导体微气压传感器的测试 |
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| 引用本文： | 郭文泰,金仁成,王海霞,高仁璟,张凤田,余俊,于耀东,张天超.微加热板式半导体微气压传感器的测试[J].传感器与微系统,2004,23(8):55-57. |
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| 作者姓名： | 郭文泰 金仁成 王海霞 高仁璟 张凤田 余俊 于耀东 张天超 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023 |
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| 摘 要： | 组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析。
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| 关 键 词： | 微加热板式半导体传感器 微气压 测试 |
| 文章编号： | 1000-9787(2004)08-0055-03 |
| 修稿时间： | 2004年2月23日 |
Test for micro air pressure semiconductor sensor based on micro-hotplate |
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| GUO Wen-tai,JIN Ren-cheng,WANG Hai-xia,GAO Ren-jing,ZHANG Feng-tian,YU Jun,YU Yao-dong,ZHANG Tian-chao.Test for micro air pressure semiconductor sensor based on micro-hotplate[J].Transducer and Microsystem Technology,2004,23(8):55-57. |
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| Authors: | GUO Wen-tai JIN Ren-cheng WANG Hai-xia GAO Ren-jing ZHANG Feng-tian YU Jun YU Yao-dong ZHANG Tian-chao |
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| Abstract: | A testing system for micro air pressure semiconductor sensor is constructed.It is composed of two parts:the vacuum device and the signal collecting system.The system provides a trial platform for developing this kind of sensor.The system is used to test and analyse the response characteristic of a kind of micro air pressure sensor based on micro-hotplate. |
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| Keywords: | semiconductor sensor based on micro-hotplate micro air pressure test |
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