| 高密度单光栅衍射光干涉线位移测量系统 |
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| 引用本文： | 李琳,杨鹏,艾华.高密度单光栅衍射光干涉线位移测量系统[J].传感器与微系统,2010,29(11). |
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| 作者姓名： | 李琳 杨鹏 艾华 |
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| 摘 要： | 为了突破传统的双光栅线位移测量系统结构和原理的限制,使用高密度光栅来提高测量精度与分辨力,介绍了一种采用高密度单光栅测量系统的光学结构,其采用衍射光干涉产生原始信号,具有光学四倍频,采用偏振移相的方法获得四路空间相位相差90°的原始信号.原始信号具有无其他谐波分量、正弦性和正交性好的优点.根据系统设计制作了样机,样机采用417 lp/mm的光栅,原始信号周期0.6 μm,经过1024电子学细分后,系统分辨力0.586nm,将系统的测量结果与HP5528干涉仪进行比较,实验结果表明:系统在100mm测量范围内精度达到0.1μm.这种线位移测量系统结构紧凑,分辨力高,精度高,可在众多需要高精度线位移传感器的场合中应用.
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| 关 键 词： | 单光栅 纳米测量 衍射光干涉 |
Diffractive light interference linear displace measurement system with high density single grating |
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| LI Lin,YANG Peng,AI Hua.Diffractive light interference linear displace measurement system with high density single grating[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(11). |
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| Authors: | LI Lin YANG Peng AI Hua |
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