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微陀螺仪特征频率分析及结构参数优化
引用本文:唐海林,程永生,苏伟.微陀螺仪特征频率分析及结构参数优化[J].传感器与微系统,2003,22(11):39-41.
作者姓名:唐海林  程永生  苏伟
作者单位:中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
基金项目:总装备部引信技术预先研究资助(413050401-2)
摘    要:应用Coventorware软件系统模型的方法对一种振动板式微陀螺仪进行了特征频率分析和结构参数优化,研究了静电压对特征频率的影响。并用有限元分析方法进行了验证,比较了两种方法的差别。

关 键 词:微陀螺仪  固有频率  系统模型  有限元法
文章编号:1000-9787(2003)11-0039-03
修稿时间:2003年7月2日

Eigenfrequency analysis and structure optimization of micro gyroscope
Abstract:System model method of Coventorware software is used to analyze the eigenfrequency and the structure parameters optimization of the micro gyroscope.And the effect of quiescent voltage on eigenfrequency is studied.The system model method is validated by comparing the frequencies with those obtained from finite element analysis method.
Keywords:micro gyroscope  resonant frequency  system model  finite element method(FEM)
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