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| 微机械薄膜热膨胀系数的测试结构 | |
| 引用本文： | 张宇星,黄庆安,李伟华.微机械薄膜热膨胀系数的测试结构[J].测控技术,2004,23(Z1):387-390. |
| 作者姓名： | 张宇星 黄庆安 李伟华 |
| 作者单位： | 东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
| 摘 要： | 在微电子机械系统(MEMS)领域,薄膜的热膨胀系数对于微电子器件、MEMS器件,尤其是微热执行器的设计是一个十分重要的参数.本文详细介绍和分析了薄膜热膨胀系数的几种测试结构,对于微机械薄膜热膨胀系数在线测试结构的设计有一定的参考价值. |
| 关 键 词： | 热膨胀系数 薄膜 微结构 MEMS 微机械薄膜 热膨胀系数 在线测试结构 Thin Films 价值 分析 参数 设计 热执行器 微电子器件 MEMS 微电子机械系统 |
| 文章编号： | 1000-8829(2004)S0-0387-04 |
Test-Sructures of Thermal Expansion Coefficient for Micromachined Thin Films |
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