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| 金属氧化物超微粒膜式新型气敏元件 | |
| 引用本文： | 王文娟,吴仲达,杨光.金属氧化物超微粒膜式新型气敏元件[J].传感器世界,2008,14(4):34-37. |
| 作者姓名： | 王文娟 吴仲达 杨光 |
| 作者单位： | 安徽立达信息技术研究所;安徽立达信息技术研究所;安徽立达信息技术研究所 |
| 摘 要： | 介绍一种改良的气敏元件，在了解金属氧化物超微粒结晶所具方向性的特点之后，巧妙地使金属氧化物超微粒的大部分结晶在特定面方位状态下聚合的超微粒膜与电极接触，并用大于通常的气体压力进行溅射，如此制成的气敏元件气体选择性良好，从而解决了一直存在的选择性不佳的难题。 |
| 关 键 词： | 气敏元件 超微粒膜 甲烷 气体选择性 气体灵敏度 溅射 |
| 文章编号： | 1006-883X(2008)04-0084-04 |
A new type of Metaloxide Supper-Particulate Film Gas Sensitive Cell |
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