| 微器件自动装配系统的定标和操纵策略 |
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| 引用本文： | 吴建华,吴亚雷,褚家如.微器件自动装配系统的定标和操纵策略[J].传感技术学报,2006,19(5):1550-1554. |
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| 作者姓名： | 吴建华 吴亚雷 褚家如 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 教育部优秀青年教师资助计划项目，博士点科研基金项目资助(20030358018) |
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| 摘 要： | 主要研究了自动微器件装配系统的定标技术和操纵策略两个问题.在加入了尺度因子优化步骤之后,一种基于Tsai两步法的自定标方法实现了亚微米级的定标精度,并且获得了更加可信的定标角度参数.这种定标方法应用于微器件装配系统中并可以实现高精度的微器件定位.除了精确定标之外,我们还应该选择合适的工作环境来控制粘附力的大小来提高微器件操纵成功率,选择合适的夹持和释放方式来提高微器件操纵效率和释放位置精度,选择一种安全简单的移动路径来缩短移动时间.实验表明,我们的自动微器件装配系统可以在10 s内完成一个器件的定位和移动操作,并实现数微米的释放位置精度.
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| 关 键 词： | 微器件装配 显微镜定标 尺度因子 相对湿度 操纵策略 操纵效率 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1550-05 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Calibration and Handling Strategy of Automated Micro Assembly System |
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| Jianhua Wu,Yalei Wu and Jiaru Chu.Calibration and Handling Strategy of Automated Micro Assembly System[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1550-1554. |
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| Authors: | Jianhua Wu Yalei Wu and Jiaru Chu |
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| Affiliation: | Department of Precision Machinery and Precision Instrumentation, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro assembly microscope calibration scale factor relative humidity handling strategy handling efficiency |
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