| 电容式微加速度计的研制 |
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| 引用本文： | 谭宜勇,金桐,苏卫国,赵新,卢桂章.电容式微加速度计的研制[J].传感技术学报,2008,21(4):585-588. |
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| 作者姓名： | 谭宜勇 金桐 苏卫国 赵新 卢桂章 |
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| 作者单位： | 南开大学机器人与自动化研究所,天津,300071;北京大学微电子所,北京,100871 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，南开大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
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| 关 键 词： | MEMS 电容式微加速度计 虚拟工艺 虚拟运行 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)04-0585-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Design and Fabrication Research on a Capacitive Accelerometer |
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| TAN Yi-yong,JIN Tong,SU weiguo,ZHAO Xin,Lu Gui-zhang.Design and Fabrication Research on a Capacitive Accelerometer[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(4):585-588. |
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| Authors: | TAN Yi-yong JIN Tong SU weiguo ZHAO Xin Lu Gui-zhang |
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| Affiliation: | 1. Institute of Robotics and Information Automatics System, Nankai University, Tianjin 300071, China)
(2. Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, China |
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| Abstract: | Based on silicon/glass anodic bonding technology and inductively coupled plasma(ICP)high aspect ratio etching,this paper first presented a IP based MEMS design tools,then proposed a new kind of the capacitive accelerometer,which combined two methods of changing parallel capacitance effectively,following the key technical steps:mechanical design,structural optimistic,Virtual Fabrication Process,Virtual Operation,and finally the design pattern and process,fabrication and test.The result shows that the accelerometer can reach high linearity. |
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| Keywords: | MEMS capacitive accelerometer virtual process virtual operation |
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