| 大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究 |
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| 引用本文： | 李博,徐晨,赵慧,赵林林,霍文晓,宋义超,沈光地.大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1391-1394. |
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| 作者姓名： | 李博 徐晨 赵慧 赵林林 霍文晓 宋义超 沈光地 |
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| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022 |
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| 摘 要： | 研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9 000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计测量了薄膜的杨氏模量.比较了两种方法的优劣.
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| 关 键 词： | 大宽厚比 悬空薄膜 杨氏模量 纳米硬度计 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1391-04 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Fabrication and characterization of free standing structure membrane with high width-thickness ratio |
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| Li Bo,Xu Chen,Zhao Hui,Zhao Linlin,Huo Wenxiao,Song Yichao,Shen Guangdi.Fabrication and characterization of free standing structure membrane with high width-thickness ratio[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1391-1394. |
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| Authors: | Li Bo Xu Chen Zhao Hui Zhao Linlin Huo Wenxiao Song Yichao Shen Guangdi |
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