| 压电双晶片传感器灵敏度特性分析 |
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| 引用本文： | 叶会英,浦昭邦.压电双晶片传感器灵敏度特性分析[J].传感技术学报,2000,13(4):281-286. |
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| 作者姓名： | 叶会英 浦昭邦 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学，哈尔滨 150006 |
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| 摘 要： | 本文用模态分析法详细分析了压电双晶片力、振动、粗糙度传感器的位移特性及灵敏度特性，并给出了灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系。
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| 关 键 词： | 压电传感器 灵敏度分析 振动传感器 力传感器 |
| 修稿时间： | 1999年11月1日 |
Analysis of the Sensitivity for Piezoelectric Bimorph Sensors |
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| Yie Huiying,PU Zhaobang.Analysis of the Sensitivity for Piezoelectric Bimorph Sensors[J].Journal of Transduction Technology,2000,13(4):281-286. |
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| Authors: | Yie Huiying PU Zhaobang |
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| Abstract: | In this paper, the performance in displacement and sensitivity are analyzed deta iledly for force, vibration, and roughness sensors using modal analysis method. The connection of the sensitivity with the material parameters and the dimension s of the piezoelectric bimorph are presented. |
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| Keywords: | piezoelectric sensors sensitivity analysis vibration sensors forsors r oughness sensors |
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